Dikloorisilaani
Dikloorisilaani | |
---|---|
![]() | |
![]() | |
Tunnisteet | |
CAS-numero | 4109-96-0 |
PubChem CID | 61330 |
Ominaisuudet | |
Molekyylikaava | SiH2Cl2 |
Moolimassa | 101,006 |
Ulkomuoto | Väritön kaasu |
Sulamispiste | –122 °C[1] |
Kiehumispiste | 8,3 °C[1] |
Liukoisuus veteen | Reagoi veden kanssa |
Infobox OK |
Dikloorisilaani (SiH2Cl2) on epäorgaaninen molekyyliyhdiste. Yhdistettä käytetään elektroniikkateollisuudessa piin ja piiyhdisteohutkalvojen valmistamiseen.
Ominaisuudet, valmistus ja käyttö
Huoneenlämpötilassa dikloorisilaani on väritöntä kaasua. Kaasu voidaan nesteyttää. Dikloorisilaani reagoi veden kanssa, jolloin muodostuu piidioksidia, piidioksidin hydraatteja ja vetykloridia. Dikloorisilaani ärsyttää ihoa, silmiä ja hengitysteitä. Yhdisteelle altistumisesta voi seurata kurkkukipua, pääkipua, hengityksen vaikeutumista ja syövytysvammoja.[2][3]
Dikloorisilaania valmistetaan piin ja vetykloridin välisellä reaktiolla. Tässä reaktiossa syntyy seos tuotteita, joka sisältää dikloorisilaanin lisäksi muun muassa trikloorisilaania ja tetrakloorisilaania. Seos puhdistetaan tislaamalla.[4][5] Toinen tapa on trikloorisilaanin disproportioituminen dikloorisilaaniksi ja tetrakloorisilaaniksi[5][6].
Dikloorisilaania käytetään elektroniikkateollisuudessa kasvatettaessa joko yksittäiskiteistä tai monikiteistä piitä. Lisäksi siitä valmistetaan elektroniikkateollisuuden tarpeisiin piidioksidi- ja piinitridiohutkalvoja.[2][4][5]
Lähteet
- ↑ a b William M. Haynes, David R. Lide, Thomas J. Bruno: CRC Handbook of Chemistry and Physics, s. 4–87. 39th Edition. CRC Press, 2012. ISBN 978-1439880494. Kirja Googlen teoshaussa (viitattu 18.9.2018). (englanniksi)
- ↑ a b Compressed Gas Association: Handbook of Compressed Gases, s. 328. Springer, 1990. ISBN 978-1-4612-8020-0. Kirja Googlen teoshaussa (viitattu 18.9.2018). (englanniksi)
- ↑ Dikloorisilaanin kansainvälinen kemikaalikortti Viitattu 18.9.2018.
- ↑ a b Barry Arkles: Silicon Compounds, Silanes, Kirk-Othmer Encyclopedia of Chemical Technology, John Wiley & Sons, New York, 2000 Viitattu 18.9.2018.
- ↑ a b c Walter Simmler: Silicon Compounds, Inorganic, Ullmann's Encyclopedia of Industrial Chemistry, John Wiley & Sons, New York, 2000 Viitattu 18.9.2018
- ↑ V. M. Vorotyntsev, G. M. Mochalov & M. A. Kolotilova: Kinetics of Dichlorosilane Separation from a Mixture of Chlorosilanes by Distillation Using a Regular Packing. Theoretical Foundations of Chemical Engineering, 2004, 38. vsk, nro 4, s. 355–359. Artikkelin verkkoversio. Viitattu 18.9.2018. (englanniksi)