Nanometrologie

Die dimensionelle Nanometrologie (von: altgriech. νᾶνος [nános] „Zwerg“ sowie griech.: μέτρον métron „Maß, -messer“) ist die Wissenschaft und Anwendung von Messungen der Dimensionen von Objekteigenschaften, Abständen und Verschiebungen im Bereich 1 bis 1000 nm^[1]. Mit einer sich entwickelnden Nanotechnologie entsteht ebenfalls der Bedarf nach einer Qualitätssicherung in der Nanometer-Dimension. Metrologische Methoden und Techniken sind aufgrund von physikalischen Skaleneffekten nicht ohne weiteres aus der „Makro“-Dimension übertragbar. Die Nanometrologie ist ein Gebiet aktueller Forschung.

1. ↑ Harald Bosse, Günter Wilkening: Dimensionelle Nanometrologie in der PTB – eine Übersicht. In: Technisches Messen. Band 73, Nr. 1, 2006, S. 4–18, doi:10.1524/teme.2006.73.1.4. 

• Übersichtsartikel: Quantitative Mikroskopie und dimensionale Nanometrologie. ptb.de; abgerufen am 4. Februar 2018  (Literatursammlung dt./en.)
• Homepage des Labors für Nanometrologie: Laboratory for Emerging Nanometrology - LENA. TU Braunschweig; abgerufen am 12. Mai 2021. 
• Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (Hrsg.): Arbeits- und Forschungsprogramm 2015 – 2017. April 2015, S. 56 ff. (ptb.de). 
• Nanometrologie. In: Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (Hrsg.): PTB-Mitteilungen. Band 121, Nr. 2, Juni 2011 (ptb.de [PDF; 7,6 MB]).